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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ユウキ シリコン カゴウブツ オ モチイタ プラズマ CVD ニ ヨル コウブンシ キバン エノ シリカマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 手嶋勝弥 [著]
- 著者標目
- 手嶋, 勝弥 テシマ, カツヤ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2003
- 出版年（W3CDTF）
- 2003
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 名古屋大学
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