Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries 2 : 2-3 August 2001 : San Diego, USA. : 46th annual SPIE international symposium on optical science and technology : Aug 2001, San Diego, CA. (SPIE Proceedings ; 4449)

Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries 2 : 2-3 August 2001 : San Diego, USA. : 46th annual SPIE international symposium on optical science and technology : Aug 2001, San Diego, CA.

(SPIE Proceedings ; 4449)

国立国会図書館請求記号: M17-03-3089
国立国会図書館書誌ID: 000004200110

資料種別: 図書

著者: Duparré, Angela.ほか

出版者: SPIE

出版年: c2001.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: ix, 294 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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一般注記：: Papers.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819441635
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries 2 : 2-3 August 2001 : San Diego, USA. : 46th annual SPIE international symposium on optical science and technology : Aug 2001, San Diego, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4449
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4449.
著者標目: Duparré, Angela.
Singh, Bhanwar.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2001.
出版年（W3CDTF）: 2001
数量: ix, 294 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Optical measurements -- Industrial applications -- Congresses.
Surfaces (Technology) -- Measurement -- Congresses.
Optoelectronic devices -- Industrial applications -- Congresses.
Information retrieval -- Technological innovations -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-3089
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004200110
http://id.ndl.go.jp/bib/000004200110
RLIN番号: NYCGAUK2845-B
整理区分コード: 215