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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 加藤宙光 [著]
- 著者標目
- 加藤, 宙光 カトウ, ヒロミツ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2003
- 出版年（W3CDTF）
- 2003
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性 ヒショウシツ シリコンサン チッカマク オヨビ シリコン チッカマク ニ オケル コウゾウ ケッカン ノ コウガクテキ ナラビニ デンキテキ ブッセイ
- 授与機関名
- 早稲田大学