Synthesis of silicon nitride particles in pulsed Rf plasmas SAND-95-2359C DE96 002122 CONF-95102361

Synthesis of silicon nitride particles in pulsed Rf plasmas

SAND-95-2359C DE96 002122 CONF-95102361

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Synthesis of silicon nitride particles in pulsed Rf plasmas
著者・編者: Buss, R. J
Babu, S. V
出版年月日等: 1995
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 20 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-2359C
テクニカルリポート番号 : DE96 002122
テクニカルリポート番号 : CONF-95102361
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE96/002122
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005541423
http://id.ndl.go.jp/bib/000005541423
整理区分コード: 291