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User's manual for the program MONSEL-1 [microform] : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology / Jeremiah R. Lowney and Egon Marx (Semiconductor measurement technology) (NIST special publication ; 400-95)

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User's manual for the program MONSEL-1 [microform] : Monte Carlo simulation of SEM signals for linewidth metrology / Jeremiah R. Lowney and Egon Marx

(Semiconductor measurement technology) (NIST special publication ; 400-95)

国立国会図書館請求記号
YCA-C 13.10:400-95
国立国会図書館書誌ID
000006596075
資料種別
図書
著者
Lowney, J. R. (Jeremiah Ralph) , 1946-ほか
出版者
-
出版年
1994
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
microfiche ; 11 × 15 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Distributed to depository libraries in microficheShipping list no.: 94-0956-M"August 1994."...

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書誌情報

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マイクロ

資料種別
図書
出版年(W3CDTF)
1994
数量
microfiche
大きさ
11 × 15 cm
出版地(国名コード)
US
本文の言語コード
eng
資料種別(注記)
[microform]