超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究

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資料種別: 図書
タイトル: 超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
タイトルよみ: チョウコウシツチッカブツタソウハクマクニヨルザイリョウヒョウメンカイシツニカンスルケンキュウ
著者・編者: 小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
著者標目: 小寺澤, 啓司コテラザワ, ケイジ
出版年月日等: 1990-1991
出版年（W3CDTF）: 1990
数量: 冊
その他のタイトル: 研究種目一般研究(C)
件名標目: 窒化物薄膜チツカブツハクマク
高周波反応性スパツタリング法コウシユウハハンノウセイスパツタリングホウ
酸化挙動サンカキヨドウ
窒化チタンチツカチタン
窒化アルミニウムチツカアルミニウム
NDLC: Y151
一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 02650059
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H02650059
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000006979502
http://id.ndl.go.jp/bib/000006979502
整理区分コード: 214