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CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

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CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

国立国会図書館請求記号
Y151-H03650063
国立国会図書館書誌ID
000006983580
資料種別
図書
著者
三好, 良夫, 大阪大学
出版者
-
出版年
1991-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマク ナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ
著者・編者
三好, 良夫, 大阪大学
著者標目
三好, 良夫 ミヨシ, ヨシオ
出版年月日等
1991-1993
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
CVD法 CVDホウ
TiC被覆膜 TICヒフクマク
X線応力測定法 Xセンオウリヨクソクテイホウ
密着力 ミツチヤクリヨク
圧縮残留応力 アツシユクザンリユウオウリヨク
熱衝撃 ネツシヨウゲキ
疲労強度 ヒロウキヨウド
フレツチング疲労強度 フレツチングヒロウキヨウド