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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- デンキ ネンセイ リュウタイ オ エンヨウ シタ チョウヘイカツ マイクロメカニカルフアブリケーシヨン システム ノ シサク
- 著者・編者
- 厨川, 常元, 東北大学
- 著者標目
- 厨川, 常元 クリヤガワ, ツネモト
- 出版年月日等
- 1999-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
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