博士論文

ナノ構造の製作と評価に用いるマイクロマシンツールに関する研究

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ナノ構造の製作と評価に用いるマイクロマシンツールに関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2005-A555
国立国会図書館書誌ID
000007734642
資料種別
博士論文
著者
角嶋邦之 [著]
出版者
[角嶋邦之]
出版年
[2004]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ナノ コウゾウ ノ セイサク ト ヒョウカ ニ モチイル マイクロマシン ツール ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
角嶋邦之 [著]
著者標目
角嶋, 邦之 カクシマ, クニユキ
出版事項
出版年月日等
[2004]
出版年(W3CDTF)
2004
数量
1冊
授与機関名
東京大学