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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- CMOSFET ゲート ゼツエンマク ト シテノ ゴクウス ラジカル サン チッカマク ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 渡部宏治 [著]
- 著者標目
- 渡部, 宏治 ワタナベ, コウジ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2004]
- 出版年（W3CDTF）
- 2004
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Ultra-thin radical oxynitride film for gate dielectrics of CMOS devices