博士論文

Si基板上へのRF-MBE法を用いたAlN,GaNのヘテロエピタキシー

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Si基板上へのRF-MBE法を用いたAlN,GaNのヘテロエピタキシー

国立国会図書館請求記号
UT51-2006-U703
国立国会図書館書誌ID
000008474383
資料種別
博士論文
著者
菊池友 [著]
出版者
[菊池友]
出版年
2006
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
同志社大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
Si キバンジョウ エ ノ RF - MBEホウ オ モチイタ AlN GaN ノ ヘテロエピタキシー
著者・編者
菊池友 [著]
著者標目
菊池, 友 キクチ, トモ
出版事項
出版年月日等
2006
出版年(W3CDTF)
2006
数量
1冊
並列タイトル等
Heteroepitaxial growth of AlN and GaN on Si substates using RF-MBE