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博士論文
水素雰囲気アニールによるシリコントレンチの構造制御
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水素雰囲気アニールによるシリコントレンチの構造制御
国立国会図書館請求記号
UT51-2007-D510
国立国会図書館書誌ID
000008537925
資料種別
博士論文
著者
栗林均 [著]
出版者
[栗林均]
出版年
[2007]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料に関する注記
一般注記:
博士論文
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書誌情報
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紙
資料種別
博士論文
タイトル
水素雰囲気アニールによるシリコントレンチの構造制御
タイトルよみ
スイソ フンイキ アニール ニ ヨル シリコン トレンチ ノ コウゾウ セイギョ
著者・編者
栗林均 [著]
著者標目
栗林, 均
クリバヤシ, ヒトシ
出版事項
[栗林均]
出版年月日等
[2007]
出版年(W3CDTF)
2007
数量
1冊
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成19年3月23日
授与年月日(W3CDTF)
2007
報告番号
甲第11881号
学位
博士 (工学)
学位論文注記
博士論文
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
NDLC
UT51
一般注記
博士論文
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
UT51-2007-D510
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000008537925
http://id.ndl.go.jp/bib/000008537925
整理区分コード
213
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