26th annual SPWCC conference : 2007 proceedings : February 13-14, 2007 : Santa Clara Convention Center : Santa Clara, CA. : Feb 2007, Santa Clara, CA.

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資料種別: 図書
タイトル: 26th annual SPWCC conference : 2007 proceedings : February 13-14, 2007 : Santa Clara Convention Center : Santa Clara, CA. : Feb 2007, Santa Clara, CA.
著者標目: Balazs, Marjorie K.
Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference (26th : 2007 : Santa Clara, Calif.)
出版事項: Los Altos : Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference
出版年月日等: [c2007]
出版年（W3CDTF）: 2007
数量: vi, 258 p. : ill. ; 28 cm.
付属資料: With a CD-ROM.
並列タイトル等: 26th annual semiconductor pure water and chemicals conference : 2007 proceedings : February 13-14, 2007 : Santa Clara Convention Center : Santa Clara, California, USA
2007 SPWCC proceedings
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Semiconductors -- Congresses.
Water -- Purification -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
"Wet Processes Conference : Presentations" -- CD-ROM.
書誌注記: Includes bibliographical references.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-07-2921
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000009152026
http://id.ndl.go.jp/bib/000009152026
OCLC番号: 173174076
https://www.worldcat.org/oclc/173174076
整理区分コード: 215