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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Yuichi Naitou [著]
- 著者標目
- 内藤, 裕一 ナイトウ, ユウイチ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 自己検出型導電性プローブを用いた走査型容量顕微鏡による半導体デバイスおよび薄膜誘電体材料の局所電気特性評価に関する研究 ジコ ケンシュツガタ ドウデンセイ プローブ オ モチイタ ソウサガタ ヨウリョウ ケンビキョウ ニ ヨル ハンドウタイ デバイス オヨビ ハクマク ユウデンタイ ザイリョウ ノ キョクショ デンキ トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学