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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- 30kV デンシセン ビョウガ ニ ヨル 20nm 20nm ピッチ ドット レツ ビョウガ ト ビショウ ジキ ドット レツ ケイセイ オヨビ XMCD ニ ヨル ジキ ドット ヒョウカ
- 著者・編者
- Zulfakri bin Mohamad [著]
- 著者標目
- Zulfakri bin Mohamad ズルファクリ ビン モハマド
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 群馬大学