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ウェハー上のマイクロ冷凍機

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ウェハー上のマイクロ冷凍機

国立国会図書館請求記号
Y151-H18560203
国立国会図書館書誌ID
000009580436
資料種別
図書
著者
久保田裕巳, 九州大学 [著]
出版者
[久保田裕巳]
出版年
2006-2007
資料形態
ページ数・大きさ等
37枚
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ウェハージョウ ノ マイクロ レイトウキ
著者・編者
久保田裕巳, 九州大学 [著]
著者標目
久保田, 裕巳 クボタ, ヒロミ
九州大学 キュウシュウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2006-2007
2008.3
出版年(W3CDTF)
2006
2007
数量
37枚
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)