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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 大和昌樹 [著]
- 著者標目
- 大和, 昌樹 ヤマト, マサキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2010]
- 出版年(W3CDTF)
- 2010
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 超高集積DRAMキャパシタ用多元素系高誘電率膜の開発 チョウコウシュウセキ DRAM キャパシタヨウ タゲンソケイ コウユウデンリツマク ノ カイハツ
- 授与機関名
- 広島大学
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