博士論文

Development of multi-element high-k dielectric films for gigabit DRAM capacitors

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Development of multi-element high-k dielectric films for gigabit DRAM capacitors

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-H12
国立国会図書館書誌ID
000011293284
資料種別
博士論文
著者
大和昌樹 [著]
出版者
[大和昌樹]
出版年
[2010]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
広島大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
大和昌樹 [著]
著者標目
大和, 昌樹 ヤマト, マサキ
出版事項
出版年月日等
[2010]
出版年(W3CDTF)
2010
数量
1冊
並列タイトル等
超高集積DRAMキャパシタ用多元素系高誘電率膜の開発 チョウコウシュウセキ DRAM キャパシタヨウ タゲンソケイ コウユウデンリツマク ノ カイハツ
授与機関名
広島大学