博士論文

超小型温度センサのMEMSへの応用に関する研究

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超小型温度センサのMEMSへの応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2011-H873
国立国会図書館書誌ID
000011300142
資料種別
博士論文
著者
高嶋徳明 [著]
出版者
[高嶋徳明]
出版年
[2011]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北学院大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
チョウコガタ オンド センサ ノ MEMS エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
高嶋徳明 [著]
著者標目
高嶋, 徳明 タカシマ, ノリアキ
出版事項
出版年月日等
[2011]
出版年(W3CDTF)
2011
数量
1冊
授与機関名
東北学院大学