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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- SiGe スパッタ エピタキシー ギジュツ ト コウソク デバイス エ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 花房宏明 [著]
- 著者標目
- 花房, 宏明 ハナフサ, ヒロアキ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2011]
- 出版年(W3CDTF)
- 2011
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- SiGe sputter epitaxy technology and its application to high-speed devices