TiN+MoS₂複合ターゲットを用いた高潤滑性硬質スパッタ膜の創成とその密着性の改善
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 神崎 昌郎鈴木 孝幸
- 並列タイトル等
- Preparation of High Lubricious and Hard Sputtered Films with TiN+MoS₂ Composite Target and Improvement of Their Adhesive Strength
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 78(3)=927:2012.3
- 掲載巻
- 78
- 掲載号
- 3
- 掲載通号
- 927