ナノ立体形状の定量計測 : 探針補正技術と高感度光干渉変位センサー (特集 測る : 社会・産業分野に貢献する計測技術)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 渡辺 正浩中田 俊彦
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Quantitative Measurement of 3D Nanostructure Devices : Probe Deformation Correction Technique and Highly Sensitive Interferometric Displacement Sensor
- タイトル（掲載誌）
- 日立評論
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 94(2)=1080:2012.2
- 掲載巻
- 94
- 掲載号
- 2