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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高村 秀一内藤 信寛西川 賢 他
- 並列タイトル等
- マルチカスプ磁場を装備するプラズマ発生装置AIT-PIDの特性 マルチカスプ ジバ オ ソウビ スル プラズマ ハッセイ ソウチ AIT-PID ノ トクセイ
- タイトル（掲載誌）
- 愛知工業大学研究報告
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (47):2012.3
- 掲載号
- 47
- 掲載ページ
- 175-181
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2012-03