博士論文

Studies on 3C-SiC/Si epitaxial growth using monomethylsilane and its applications

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Studies on 3C-SiC/Si epitaxial growth using monomethylsilane and its applications

国立国会図書館請求記号
UT51-2012-J90
国立国会図書館書誌ID
024012404
資料種別
博士論文
著者
Rolando V. Bantaculo [著]
出版者
[Rolando V. Bantaculo]
出版年
[2011]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
Rolando V. Bantaculo [著]
著者標目
Rolando Vino Bantaculo ローランド ヴィーノ バンタクロ
出版年月日等
[2011]
出版年(W3CDTF)
2011
数量
1冊
並列タイトル等
モノメチルシランを用いたSi基板上3C-SiC薄膜のエピタキシャル成長とその応用に関する研究 モノメチルシラン オ モチイタ Si キバンジョウ 3C-SiC ハクマク ノ エピタキシャル セイチョウ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東北大学