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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 安藤 康高陳 声遠野田 佳雅 他
- 並列タイトル等
- Influence of Feedstock Feed Rate on Quality of Titanium Oxide Film in Atmospheric Thermal Plasma CVD Using Vortex Ar Plasma
- タイトル（掲載誌）
- プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 20(2):2012.12
- 掲載巻
- 20
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 99-104