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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ジュンアンテイ ジョウタイ チッソ ブンシ ノ シンダン オヨビ プラズマ プロセシング ニ オケル ヤクワリ
- 著者・編者
- 堀川佳峰 [著]
- 著者標目
- 堀川, 佳峰 ホリカワ, ヨシミネ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2013]
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Diagnostics of metastable-state molecular nitrogen and its role to plasma processing