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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Kusumandari [著]
- 著者標目
- Kusumandari クスマンダリ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2013]
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- プラズマプロセスがHigh-k/Geゲートスタック構造の電気的特性に与える影響 プラズマ プロセス ガ High-k
- 授与機関名
- 名古屋大学
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