直接貼付InPテンプレートを用いた異種基板上MOVPE結晶成長 (光エレクトロニクス)

直接貼付InPテンプレートを用いた異種基板上MOVPE結晶成長

(光エレクトロニクス)

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資料種別: 記事
タイトル: 直接貼付InPテンプレートを用いた異種基板上MOVPE結晶成長
著者・編者: 松本恵一
張きんきん
金谷佳則他
シリーズタイトル: 光エレクトロニクス
著者標目: 松本恵一
張きんきん
金谷佳則
並列タイトル等: MOVPE growth realized on heterogeneous substrate employing directly-bonded InP template
タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）: 113(99):2013.6.21
掲載巻: 113
掲載号: 99
掲載ページ: 13-18
掲載年月日（W3CDTF）: 2013-06-21
ISSN（掲載誌）: 0913-5685
ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 光インターコネクト
直接貼付法
InPテンプレート
MOVPE
Optical interconnect
Wafer Direct Bonding
InP template
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
レポート番号（雑誌記事）: OPE2013-9
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-940
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024679108
http://id.ndl.go.jp/bib/024679108
整理区分コード: 632