低ガス放出で高輻射率のAlTiN成膜の紹介 (小特集 真空排気・計測関連製品紹介)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐藤 勝
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Introduction for AlTiN Films with High Emissivity and Low Outgassing Rate in Vacuum and these Fabrication Processes
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 56(6):2013.6
- 掲載巻
- 56
- 掲載号
- 6