Ga-Alフラックスを用いた液相成長法によるAlN膜成長 (特集 固体紫外光源を目指した窒化物半導体結晶成長の最前線)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 福山 博之安達 正芳
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Liquid Phase Epitaxial Growth of AlN Films using Ga-Al Fluxes
- タイトル（掲載誌）
- 日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 41(3):2014
- 掲載巻
- 41
- 掲載号
- 3