雑誌耐火物
ポリマー支援ゾル-ゲ...

ポリマー支援ゾル-ゲル法と超臨界乾燥による多結晶SiC基板へのHfO₂多孔質厚膜の形成

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ポリマー支援ゾル-ゲル法と超臨界乾燥による多結晶SiC基板へのHfO₂多孔質厚膜の形成

国立国会図書館請求記号
Z17-226
国立国会図書館書誌ID
026502070
資料種別
記事
著者
明石 孝也ほか
出版者
東京 : 耐火物技術協会
出版年
2015-06
資料形態
掲載誌名
耐火物 67(6)=689:2015.6
掲載ページ
p.276-280
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
明石 孝也
勝山 陽介
松嶋 景一郎
並列タイトル等
Fabrication of Thick HfO₂ Porous Coating Layer on Polycrystalline SiC Substrate by Polymer-assisted Sol-gel Process and Supercritical Drying
タイトル(掲載誌)
耐火物
巻号年月日等(掲載誌)
67(6)=689:2015.6
掲載巻
67
掲載号
6
掲載通号
689