半導体MEMSを用いた近接覚・触覚コンボセンサ (特集 先端計測技術開発の展望)

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半導体MEMSを用いた近接覚・触覚コンボセンサ

(特集 先端計測技術開発の展望)

国立国会図書館請求記号
Z17-82
国立国会図書館書誌ID
026699771
資料種別
記事
著者
寒川 雅之
出版者
川崎 : 化学工業社
出版年
2015-09
資料形態
掲載誌名
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 60(9)=728:2015.9
掲載ページ
p.653-659
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
寒川 雅之
著者標目
タイトル(掲載誌)
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
巻号年月日等(掲載誌)
60(9)=728:2015.9
掲載巻
60
掲載号
9
掲載通号
728