その場X線回折法による有機金属化合物気相成長GaInNの評価 (特集 半導体結晶成長機構のその場観察)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 岩谷 素顕竹内 哲也上山 智 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Analysis of Metalorganic Vapor Phase Epitaxial Growth in GaInN Characterized by in Situ X-ray Diffraction
- タイトル（掲載誌）
- 日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(3):2015
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 3