ポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の表面処理によるペンタセン薄膜トランジスタのキャリア移動度向上 (特集 半導体エレクトロニクス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 道浦 大祐中原 佳夫宇野 和行田中 一郎
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Improving the Carrier Mobility of Pentacene Thin Film Transistors by Surface Treatment of Polysilsesquioxane Gate Dielectric Layers
- タイトル（掲載誌）
- 材料 / 日本材料学会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(9):2016.9
- 掲載巻
- 65
- 掲載号
- 9