半導体製品におけるガ...

半導体製品におけるガス腐食試験における問題点と実使用環境下での腐食耐性

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半導体製品におけるガス腐食試験における問題点と実使用環境下での腐食耐性

国立国会図書館請求記号
YH247-1500
国立国会図書館書誌ID
028360196
資料種別
記事
著者
飯塚 和宏ほか
出版者
[東京] : [日本科学技術連盟]
出版年
2017-07
資料形態
記録メディア
掲載誌名
信頼性・保全性シンポジウム = The Symposium on Reliability and Maintainability 47:2017.7.13・14
掲載ページ
p.126-131
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
飯塚 和宏
福士 俊光
知野 泰弘
瀬戸屋 孝
並列タイトル等
Problem in gas corrosion test of semiconductor products and gas corrosion resistance in the actual use
タイトル(掲載誌)
信頼性・保全性シンポジウム = The Symposium on Reliability and Maintainability
巻号年月日等(掲載誌)
47:2017.7.13・14
掲載巻
47
掲載ページ
126-131
掲載年月日(W3CDTF)
2017-07