原料間歇供給/変調型...

原料間歇供給/変調型誘導熱プラズマ併用法を用いたSi/Cナノ粒子の一段的大量生成の試み (プラズマ研究会・プラズマ一般)

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原料間歇供給/変調型誘導熱プラズマ併用法を用いたSi/Cナノ粒子の一段的大量生成の試み

(プラズマ研究会・プラズマ一般)

国立国会図書館請求記号
Z43-229
国立国会図書館書誌ID
028513401
資料種別
記事
著者
清水 光太郎ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2017-08-12
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編] 2017(59-66):2017.8.12
掲載ページ
p.29-34
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
清水 光太郎
石坂 洋輔
穏田 一輝
兒玉 直人
田中 康規
上杉 喜彦
石島 達夫
末安 志織
渡邉 周
中村 圭太郎
並列タイトル等
A trial of Si/C Nanoparticles Synthesis using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas with Intermittent Feeding of Feedstock
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2017(59-66):2017.8.12
掲載巻
2017
掲載号
59-66