積層マイクロカンチレ...

積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会・鉄道、センサ技術一般)

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積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス

(交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会・鉄道、センサ技術一般)

国立国会図書館請求記号
Z43-238
国立国会図書館書誌ID
028590086
資料種別
記事
著者
寒川 雅之ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2015-03-18
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan / 交通・電気鉄道研究会 [編] 2015(1-15):2015.3.18
掲載ページ
p.41-44
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
寒川 雅之
安部 隆
並列タイトル等
Fabrication of Multi-layer Micro-cantilever Structure and Its Application to Miniature Sensor Devices
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan / 交通・電気鉄道研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2015(1-15):2015.3.18
掲載巻
2015
掲載号
1-15