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大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果

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大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
029324531
資料種別
記事
著者
谷口 日向ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2018-10-24
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(263):2018.10.24
掲載ページ
p.5-8
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
谷口 日向
大家 溪
中野 武雄
長尾 昌善
大崎 壽
村上 勝久
並列タイトル等
Effects of discharge gas species (Ar, Kr) on fabrication of Spindt type emitter cathode using high power pulsed magnetron sputtering
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
118(263):2018.10.24
掲載巻
118
掲載号
263
掲載ページ
5-8