金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

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金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

国立国会図書館請求記号
YH247-299
国立国会図書館書誌ID
029902535
資料種別
記事
著者
丹羽 英二ほか
出版者
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版年
2018
資料形態
記録メディア
掲載誌名
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35:2018.10.30-11.1
掲載ページ
p.6p
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
丹羽 英二
林 晋也
須貝 一郎
野口 幸紀
飯島 高志
棚池 修
蛯名 武雄
並列タイトル等
Coating type clay insulating layer for metal base thin film sensor devices
タイトル(掲載誌)
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
35:2018.10.30-11.1
掲載巻
35
掲載ページ
6p
掲載年月日(W3CDTF)
2018