SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発

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SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発

国立国会図書館請求記号
YH247-299
国立国会図書館書誌ID
031480150
資料種別
記事
著者
原田 雅彦ほか
出版者
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版年
2020-10
資料形態
記録メディア
掲載誌名
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37:2020.10.26-28
掲載ページ
p.6p
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
原田 雅彦
高尾 英邦
下川 房男
寺尾 京平
並列タイトル等
Development of optically-driven nanoneedles using SU-8 nanofabrication
タイトル(掲載誌)
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
37:2020.10.26-28
掲載巻
37
掲載ページ
6p
掲載年月日(W3CDTF)
2020-10