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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 榊原 佑樹綿谷 一輝寺尾 京平下川 房男高尾 英邦
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Parylene-C Coating on High Resolution MEMS Tactile Sensor for Protection of Measurement Surface
- タイトル（掲載誌）
- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 36:2019.11.19-21
- 掲載巻
- 36
- 掲載ページ
- 3p