光干渉型MEMS表面...

光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出 (マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般)

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光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出

(マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般)

国立国会図書館請求記号
Z74-C94
国立国会図書館書誌ID
031704808
資料種別
記事
著者
阪上 天斗ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2021-08-06
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. MSS 2021(48-54):2021.8.6
掲載ページ
p.15-19
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
阪上 天斗
高橋 利昌
崔 容俊
澤田 和明
高橋 一浩
並列タイトル等
Room temperature ethanol gas detection by optical interferometric MEMS surface stress sensor
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. MSS
巻号年月日等(掲載誌)
2021(48-54):2021.8.6
掲載巻
2021
掲載号
48-54