銅スパッタ薄膜内部の残留応力分布のX線測定(特集 X線材料強度)

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資料種別: 記事
タイトル: 銅スパッタ薄膜内部の残留応力分布のX線測定
著者・編者: 秋庭義明
木村英彦
坂上卓
シリーズタイトル: 特集 X線材料強度
著者標目: 秋庭義明
木村英彦
坂上卓
並列タイトル等: Measurement of residual stress distribution in sputtered Cu thin films by X-ray method
タイトル（掲載誌）: 材料 / 日本材料学会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 58(7) 2009.7
掲載巻: 58
掲載号: 7
掲載ページ: 575～580
掲載年月日（W3CDTF）: 2009-07
ISSN（掲載誌）: 0514-5163
ISSN-L（掲載誌）: 0514-5163
出版事項（掲載誌）: 京都 : 日本材料学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: X-ray
Copper thin film
Stress distribution
Constant penetration depth method
GIXD
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-267
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 10384278
http://id.ndl.go.jp/bib/10384278
整理区分コード: 632