ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム (有機エレクトロニクス)

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ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム

(有機エレクトロニクス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
10667801
資料種別
記事
著者
川畑 直之ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2010-04-23
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110(16) 2010.4.23
掲載ページ
p.13~17
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
川畑 直之
黒澤 昌志
佐道 泰造 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Al-induced crystallization of SiGe thin-films on glass and its growth mechanism
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
110(16) 2010.4.23
掲載巻
110
掲載号
16