High-speed processing with Cl2 cluster ion beam

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High-speed processing with Cl2 cluster ion beam

国立国会図書館請求記号
Z74-E130
国立国会図書館書誌ID
10731966
資料種別
記事
著者
瀬木 利夫ほか
出版者
姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室
出版年
2008
資料形態
掲載誌名
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo 2008年度 2008
掲載ページ
p.259~264
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
瀬木 利夫
Takaaki Aoki
Jiro Matsuo
並列タイトル等
塩素クラスターによる高速加工
タイトル(掲載誌)
兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo
巻号年月日等(掲載誌)
2008年度 2008
掲載巻
2008年度
掲載ページ
259~264
掲載年月日(W3CDTF)
2008