励起中性粒子検出法を用いた小型指向性真空計の試作 (第24回真空に関する連合講演会プロシーディングス)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 荒川 一郎金 文沢辻 泰
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 27(5) 1984.05
- 掲載巻
- 27
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- p327～329