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無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプの開発

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無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプの開発

国立国会図書館請求記号
Z14-150
国立国会図書館書誌ID
3626647
資料種別
記事
著者
本田 雅則 他
出版者
宮崎 : 宮崎大学工学部
出版年
1995-09
資料形態
掲載誌名
宮崎大学工学部研究報告 / 宮崎大学工学部 編 (通号 41) 1995.09
掲載ページ
p.p117~122
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
本田 雅則 他
著者標目
タイトル(掲載誌)
宮崎大学工学部研究報告 / 宮崎大学工学部 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 41) 1995.09
掲載通号
41
掲載ページ
p117~122
掲載年月日(W3CDTF)
1995-09
ISSN(掲載誌)
0540-4932