プラズマ浸炭における残留メタン濃度測定による表面炭素濃度制御
デジタルデータあり（科学技術振興機構）
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 奥宮 正洋 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 55(9) 1991.09
- 掲載巻
- 55
- 掲載号
- 9
- 掲載ページ
- p981～985
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1991-09