プラズマ化学気相堆積法によるハフニウムシリケート膜の堆積

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プラズマ化学気相堆積法によるハフニウムシリケート膜の堆積

国立国会図書館請求記号
Z15-493
国立国会図書館書誌ID
5894084
資料種別
記事
著者
加藤 宙光ほか
出版者
東京 : 放電学会
出版年
2001-06
資料形態
掲載誌名
放電研究 : 放電学会誌 44(1・2) 2001.6
掲載ページ
p.69~73
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
加藤 宙光
宮川 武
南向 智広 他
タイトル(掲載誌)
放電研究 : 放電学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
44(1・2) 2001.6
掲載巻
44
掲載号
1・2
掲載ページ
69~73
掲載年月日(W3CDTF)
2001-06