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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 末次 祐介谷本 育律堀 洋一郎 他
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 46(3) 2003.3
- 掲載巻
- 46
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 158～161