サドンデスTEGとOBIRCHを用いたダマシンCu配線のエレクトロマイグレーション評価

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サドンデスTEGとOBIRCHを用いたダマシンCu配線のエレクトロマイグレーション評価

国立国会図書館請求記号
Z14-2023
国立国会図書館書誌ID
6784828
資料種別
記事
著者
横川 慎二
出版者
東京 : 日本信頼性学会
出版年
2003-11
資料形態
掲載誌名
信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌 25(8) (通号 132) 2003.11
掲載ページ
p.811~820
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
横川 慎二
著者標目
タイトル(掲載誌)
信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
25(8) (通号 132) 2003.11
掲載巻
25
掲載号
8
掲載通号
132
掲載ページ
811~820